일본 코쿠사이와 반도체 공정용 원자층증착(ALD) 장비 특허분쟁 중인 유진테크가 이번에도 웃었다. 특허법원이 특허심판원 판단을 뒤집고 코쿠사이 특허 1건을 무효라고 판결했다. 특허법원은 15일 코쿠사이의 특허 '반도체 장치의 제조 방법, 기판 처리장치 및 프로그램&apos...