티로보틱스(117730)가 반도체 유리기판 이송용 진공로봇 기술의 일본 특허 등록을 완료하며 AI 반도체 및 첨단 패키징 시장 공략에 속도를 낸다. 티로보틱스는 ‘진공 챔버 내에서 기판을 이송하는 기판 이송 장치’ 관련 기술에 대해 일본 특허 등록을 마쳤다고 28일...