반도체 장비기업들의 올해 첫 분기 성적표가 시장 기대에 미치지 못한 것으로 나타났다. 하지만 올해 들어 글로벌 반도체 시장이 초호황(슈퍼사이클)에 본격 진입하고 이에 따라 장비 수주 물량이 크게 늘어나면서 올 2·4