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中, 이머전 DUV 노광장비 자체 생산 본격화..."반도체 자립 전환점"
💻 中, 이머전 DUV 노광장비 자체 생산 본격화..."반도체 자립 전환점"
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📌 이머전 DUV 생산 단계 진입
상하이 정부 지원 업체가 자체 개발한 이머전 DUV 장비 생산에 돌입
올해 약 5대, 내년 20대 수준으로 생산 확대 목표
SMIC·화훙반도체·CXMT에 첫 장비 공급 예정
📌 美 규제가 장비 국산화 촉진
EUV와 최상급 DUV 수출 제한 속 중국이 자체 노광장비 개발에 투자 확대
실제 생산 단계에 진입했다는 점에서 상징적 의미
중국 내 장비·파운드리·메모리 기업을 연결한 자급형 생태계 구축 가속
📌 7나노 구현 가능하지만 한계 존재
이머전 DUV는 단일 노광으로 28나노, 다중 노광 적용 시 7나노급 구현 가능
다만 오버레이 오차와 공정 증가로 수율·비용·생산성 부담 확대
첨단 공정에서는 여전히 EUV의 기술·경제성 우위가 지속
📌 양산 검증이 향후 관건
핵심 부품 일부는 일본산에 의존하고 부품 공급 지연 문제도 존재
실제 생산라인 적용까지 처리 속도·정밀도·장기 신뢰성 검증 필요
중국 장비 상용화 우려로 ASML을 비롯한 글로벌 장비주 동반 약세
💻반도체 소부장💻[그로쓰리서치]
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이데일리
中, 이머전 DUV 노광장비 자체 생산 본격화…"반도체 자립 전환점"(종합)
중국이 자체 개발한 이머전(Immersion·침지) 방식 심자외선(DUV) 노광장비 생산에 돌입한 것으로 알려졌다. 미국과 네덜란드의 대중 반도체 장비 수출 규제로 최첨단 극자외선(EUV) 노광장비 확보가 사실상 막힌 가운데 중국이 독자적인 노광장비 생산 체계를 구축...
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