중국 EUV 국산화율 90% 광원 시제품 공개, 상용화까지는 3 5년 전망[TrendForce]

💻 중국 EUV 국산화율 90% 광원 시제품 공개, 상용화까지는 3~5년 전망[TrendForce] 중국이 EUV 국산화의 핵심 관문인 광원 개발에서 진전을 보이고 있지만, 15W급 시제품과 수백 W급 상용 장비 사이에는 여전히 상당한 기술 격차가 존재합니다. 📌 중국, 자체 EUV 광원 시제품 공개 중국 랑다오 실렉스(Langdao Silex)가 국제산업박람회에서 첫 EUV 광원 시제품 공개 회사 측은 핵심 부품 대부분을 자체 개발했으며 국산화율이 약 90%라고 설명 반도체 노광 테스트에 활용 가능한 수준이지만, 첨단 반도체 양산용 EUV 장비와는 구분 필요 📌 EUV 출력 15W, 상용 장비와 격차 저출력 제품 ‘FlintNano LPP-OXXO’는 레이저 생성 플라즈마(LPP) 방식 적용 EUV 출력 15W 이상, 연속 가동 100시간 이상, 플라즈마 안정도 3% RMS 제시 ASML은 이미 2018년부터 250W급 EUV 광원을 양산에 활용하고 있으며 1,000W급 기술 개발 추진 📌 상용화까지 3~5년, 출력·안정성이 관건 랑다오 실렉스 측은 대규모 상업 생산까지 3~5년이 필요할 것으로 전망 현재 저출력 제품은 제품화 단계, 고출력 제품은 원리 검증 단계 향후 수백 W급 출력 확보와 장시간 운전 안정성·광원 수명 개선이 핵심 과제 📌 EUV 국산화, 광원 확보만으로는 부족 EUV 노광장비는 광원 외에도 초정밀 광학계·웨이퍼 스테이지·시스템 통합 기술이 필수 ASML 장비는 800개 이상 협력사의 수십만 개 부품을 활용하는 복잡한 공급망 구조 중국의 광원 기술 진전은 의미 있지만, 실제 첨단공정 양산을 위해서는 전체 장비의 통합 검증이 필요 💻반도체 소부장💻[그로쓰리서치] https://telegram.me/growth_semi