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미래를 보는 창 - 전자신문
에프엔에스테크, 반도체 유리기판용 CMP 패드 양산 라인 투자 결정
에프엔에스테크는 반도체 유리기판 제조용 대면적 화학적기계연마(CMP) 패드 양산 라인을 구축한다고 21일 밝혔다. CMP 패드는 기판을 평탄화하기 위한 핵심 소재부품이다. 회사는 지난해 9월 유리기판용 CMP 패드 시제품을 생산한후 12월 고객사에 공급한 바 있다. 현
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