머스크, EUV 노광장비를 뒤흔들까?

>>머스크, EUV 노광장비를 뒤흔들까? •머스크가 FEL(자유전자레이저) 방식을 검토하며 ASML의 LPP EUV 광원에 도전할 가능성이 제기됐음. FEL은 고출력·높은 결맞음·파장 조절 가능성·높은 에너지 효율 등의 장점을 갖고 있어, 이론적으로 노광 광원을 현재의 13.5nm에서 6nm 또는 그보다 짧은 파장까지 낮출 가능성이 있음. 다만 거대한 가속기 시스템과 높은 비용, 양산 안정성이 산업화의 가장 큰 난관임 >马斯克,要颠覆EUV光刻机? https://wallstreetcn.com/articles/3779015#from=ios