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삼성, 美 테일러에 'EUV 펠리클' 우선 도입...양산 임박
✅ 삼성, 美 테일러에 'EUV 펠리클' 우선 도입...양산 임박
https://www.etnews.com/20260122000070
삼성전자가 미국 테일러 팹에 EUV 펠리클을 우선 도입하기로 하고
관련 설비를 발주(사실상 적용 확정).
FST가 250억원 규모로 펠리클 탈·부착 장비/검사 장비 등을 수주해 공급.
EUV 펠리클은 마스크 오염을 막아 수율 저하를 완화하는 부품이라 생산성 개선 기대.
테일러 팹은 삼성의 2nm 양산 거점(2026년 하반기 목표)이며
테슬라 AI5 양산도 언급.
TSMC는 이미 2019년부터 EUV 펠리클을 도입해 첨단공정에 적용 중.
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미래를 보는 창 - 전자신문
삼성, 美 테일러에 'EUV 펠리클' 우선 도입…양산 임박
삼성전자가 첨단 반도체 공정 생산성을 높일 핵심 부품 '극자외선(EUV) 펠리클'을 미국에 구축 중인 테일러 팹에 처음 도입한다. 그동안 도입 여부가 불투명했으나 핵심 장비를 발주하며 사실상 적용을 확정 지었다. 22일 업계에 따르면 삼성전자는 미국 텍사스주 테일러 팹
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