TSMC가 미국 애리조나주 신공장(Fab 21)의 내부 영상을 공개. 영상에는 네덜란드 ASML의 고가 장비인 Twinscan NXE 극자외선(EUV) 노광기와…

• TSMC가 미국 애리조나주 신공장(Fab 21)의 내부 영상을 공개. 영상에는 네덜란드 ASML의 고가 장비인 Twinscan NXE 극자외선(EUV) 노광기와 천장 위를 달리며 웨이퍼를 운반하는 자동 물류 시스템 ‘천차(OHT, Overhead Hoist Transfer)’, 일명 ‘은색 고속도로(Silver Highway)’가 등장 • 해당 시스템은 12인치 웨이퍼를 실은 운반 용기(FOUP)를 고속으로 이동시키며, 공장 내 물류 효율을 극대화. TSMC에 따르면 천차가 하루에 이동하는 거리는 지구 20바퀴로, 현재 애리조나 공장은 4nm·5nm 공정 생산 능력을 확충 중이며, 영상은 세계 최고 수준의 자동화·정밀 생산 환경을 보여줌 (대만경제일보) > https://money.udn.com/money/story/5612/9083432?from=ednappsharing