중국 국산 EUV 광원 시제품 국산화율 90%, 양산까지 3 5년 전망 (중국언론)

>>중국 국산 EUV 광원 시제품 국산화율 90%, 양산까지 3~5년 전망 (중국언론) •중국 랑다오수옌이 국산 EUV 광원 시제품을 처음 공개함. 시제품의 국산화율은 90%로, 핵심 부품 대부분을 자체 개발했으며 반도체 노광 테스트에 활용할 수 있음. 해당 제품은 현재 공개된 국산 EUV 광원 시제품 중 개발 진척도가 가장 앞선 것으로 평가됨. EUV 광원은 7nm 이하 첨단 반도체 제조의 핵심 부품으로, 중국의 기술 자립을 제약해 온 분야 >>【上观:中国极紫外光源样机国产化率达90% 目前距离量产还需3—5年】第二十六届中国国际工业博览会正在国家会展中心(上海)举行,创新科技馆百余项上海科创成果集中登场。